半導體的防潮防氧化
發(fā)布時間:2013年03月04日 點擊數:
半導體的防潮防氧化
半導體芯片及半成品,在工廠里,同樣是需要進行防潮防氧化的存儲。這些芯片及半成品結構復雜,內部存在各種小縫隙,如放置在不干燥的環(huán)境下,就會吸取潮氣,進而導致芯片的不良。在某種程度上,這些芯片同樣可以歸類至潮濕敏感器件。故這些芯片及半成品同樣需要低濕設備進行防潮防氧化存儲。
目前,在半導體工廠里,傳統使用的的防潮防氧化設備為氮氣柜。氮氣柜是采用在柜內充入高濃度氮氣的方式,以達到柜內無氧及低濕環(huán)境。進而達到對所存儲物品的防潮防氧化效果。
相比于防潮箱(也叫防潮柜、干燥柜、干燥箱),氮氣柜的優(yōu)點在于防氧化的效果。但氮氣柜也有其無法避免的劣勢。那就是運行成本!據有關半導體工廠統計。氮氣柜每年的運行成本在RMB1~5萬之間。對于氮氣柜本身才幾千至一萬多左右的成本。這個氮氣柜的運行成本確實非常高。
所以,現在在半導體工廠中的防潮防氧化存儲中,慢慢地改為使用快速超低濕的防潮箱進行替換氮氣柜。此種快速超低濕防潮箱,一方面需要此防潮箱的低濕可達5%RH以下;另一方面,需要保證此防潮箱在頻繁開關門時仍在5%RH以下,也就是需要此防潮箱的快速恢復能力。
目前,在某大型半導體工廠中,對于快速超低濕防潮箱與氮氣柜的防潮防氧化存儲效果,已分別進行過短期及長期的存儲效果對比。對比的效果顯示,能滿足上述要求的快速超低濕存儲防潮箱可與氮氣柜起到相同的防氧化效果。而且,在防潮效果上,有過之而無不及。
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